半導體產(chǎn)業(yè)是國民經(jīng)濟基礎性支柱產(chǎn)業(yè),因此在半導體生產(chǎn)過程中,集成電路集成度高,元器件對生產(chǎn)車間的無塵、濕度、靜電等指標要求特別嚴。特別是由于微粒灰塵污染、靜電放電損壞以及與此相關聯(lián)的設備停機,是靜電帶來的三大問題。在所有的半導體生產(chǎn)領域,由于靜電的負面效應,使得保持高水準的產(chǎn)品質量和成品率變得更加困難。缺少靜電控制,將導致微粒污染,靜電放電損壞和設備故障。要防止靜電的產(chǎn)生,關鍵的就是要通過安裝工業(yè)加濕器控制濕度和灰塵產(chǎn)生。
一般電子車間空氣濕度在40-60%RH之間,不會產(chǎn)生靜電和灰塵,產(chǎn)品質量也會有保證。國內(nèi)外半導體企業(yè)在控制靜電上,比較行之有效的一個措施就是使用工業(yè)加濕器加濕除塵,防靜電,而比較普遍的加濕器類型就是干霧加濕器。杭州嘉友霧王推出的干霧加濕器已經(jīng)應用到了國內(nèi)不少半導體生產(chǎn)企業(yè)。
霧王干霧加濕器作為專業(yè)的電子車間加濕器,蒸發(fā)快、濕度控制效果好的特點,不管是除塵還是除靜電、防靜電,速度快、效果好。并且可以實現(xiàn)濕度自動感應控制,加濕范圍廣,水電利用率高,整體運行費用低。
目前,全球半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展靠兩大輪子推動,一是不斷縮小芯片特征尺寸,二是不斷擴大晶圓尺寸。不管哪個輪子推動,防止靜電都將是影響半導體制造技術發(fā)展的關鍵。相信在工業(yè)加濕器等新產(chǎn)品、新技術的不斷更新下,會更好解決半導體靜電問題,進步一提高電子產(chǎn)品的產(chǎn)量和質量。
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